Magnetron Saçtırma Tekniğinde Kullanılacak Olan Hedef Malzemeleri İçin SnO2 Tozların Sol-jel Yöntemi ile Üretilmesi

Abstract

Kalay oksit (SnO2), sıklıkla kullanılan ve geniş yelpazede araştırma alanı bulabilen yarı iletken bir metaloksittir. SnO2 ince filmler şeklinde gaz sensörleri, güneş pilleri gibi birçok alanda uygulama bulabilmektedir. SnO2 ince filmler gaz sensörleri olarak mükemmel performans göstermektedir. SnO2 ince filmlerin üretimi için birçok teknik olmasına rağmen, basit, ucuz ve istenilen film kalınlığının kolayca kontrol edilebilmesinden dolayı genellikle magnetron saçtırma cihazı kullanılmaktadır. SnO2 ince filmlerin kararlılığı ve benzer üretim proseslerinin sürdürülebilirliği, magnetron prosesinde kullanılan hedef malzemenin kalitesine bağlıdır. SnO2 tozlar pellet haline getirilerek hedef malzeme üretilmektedir. Tozların büyük çapta üretimi için sol-jel yöntemi uygun ve kolay bir yöntemdir. Üretilen tozlara bağlayıcı katılarak, sıcak isostatik presleme (HIP) yapılır ve sinterlenir. Böylece tozlar kullanılacak hadef malzeme çapında pellet haline getirilmiş olur. Kararlı SnO2 ince film üretmek için bu tozların saflığı, yoğunluğu ve ortalama tane çapı önem arz etmektedir. Bu çalışmada, SnO2 tozlar sol-jel yöntemi ile üretilmiş ve bunların ortalama boyut dağılımı ve karakterizasyonu partikül boyut ölçüm ve X-Işınları difraktometresi (XRD) cihazları kullanılarak analiz edilmiştir.